氮气柜是需要向柜体充入高纯度的氮气，通过空气置换原理，让氮气柜柜内的氮气浓度升高，从而降低柜内的相对湿度值和氧含量值。配置氮气控制系统及温湿度采集系统，可以按需定点的控制湿度值或氧含量值，在半导体行业通常用来存储晶圆盒，防止晶圆片的氧化。

氮气柜都会配置有氮气流量计来控制调节的氮气流量，相比普通的直冲型氮气柜，三清仪器的智能节约型氮气柜可以有效的节约氮气的消耗，配置氮气自动供应及切断系统和多点供气，让氮气的消耗可以节约80%以上。节约氮气的原理是使用温湿度传感器或者氧含量传感器采集数据，反馈至微电脑系统于设定值相比对，如果当前数据达到或低于设定值的时候，内置的SMC电磁阀，即刻切断氮气供应。反之，如果高于设定值的时候，会自动打开氮气供应。同时要说明的是，智能氮气柜的流量计的流量大小和氮气的消耗没有必然的直接关系（不排除流量过大，导致漏气的情况发生），消耗量只和环境的湿度值，开门的次数及开门的时间长短有关系。另外存放晶圆盒的氮气柜，一般推荐不锈钢材质制作，洁净等级更高，确保电路的品质。